低温等离子净化器的工作原理：

  采用低温等离子体分解油雾、废气等污染介质时，等离子体中的高能离子起决定性的作用，流星雨状的高能等离子与介质发生非弹性碰撞，将能量转化成基态介质的内能定向链化学反应后被脱离，当离子平均能量超过污染介质中化学链结合能时，分子链断裂污染介质分解，并在等离子发生器吸附场的作用下被收集，在低温等离子体中，可能由污染介质成分决定等离子的平均能量、离子密度、气体温度、污染介质浓度及共存的介质成分。